上海慶工石化設備制造有限公司
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在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中,還原爐尾氣過(guò)濾器如何選型始終是一個(gè)難點(diǎn),如過(guò)濾器及過(guò)濾面積選擇不當,將會(huì )導致過(guò)濾器堵死或硅粉過(guò)濾不徹底,影響下游工藝設備,從而嚴重影響系統的穩定運行。由于多晶硅行業(yè)尾氣粉塵具有顆粒細小、溫度高、硬度高、有耐磨性等特點(diǎn),目前使用效果較好的是本體采用316L材料、濾芯采用316L金屬燒結氈制成的過(guò)濾器。此過(guò)濾器可設置成手動(dòng)反吹或自動(dòng)反吹。
♦ 硅粉輸送工序尾氣過(guò)濾。
♦ 三氯氫硅合成工序合成氣過(guò)濾。
♦ 三氯氫硅還原工序尾氣過(guò)濾。
♦ 四氯化硅氫化工序尾氣過(guò)濾。
♦ 焚燒尾氣過(guò)濾。
♦ 其它。
1、氣體精密過(guò)濾器 | 2、天燃氣精密過(guò)濾器 |
3、液體精密過(guò)濾器 | 4、袋式過(guò)濾器 |
5、多晶硅過(guò)濾器 | 6、保安過(guò)濾器 |
7、精密過(guò)濾器濾芯 |
工藝參數 |
氣 相:氫氣、氮氣或其它99.9%;固相:冶金硅粉0.1%(重量) 顆粒粒度:40~100目 |
設計性能 |
過(guò)濾效果:固體去除率99.9% 清灰設計:在線(xiàn)分區脈沖反吹(低壓系統) 離線(xiàn)分區脈沖反吹(高壓系統) |
工藝參數 |
氣 相:(wt%)H2(1.6%),HCl(3.3%),SiH2Cl2(3.5%) SiCl4(13.6%),SiHCl3(77.8%) 固 相:Si 粉(0.3%,max:1%) 工作溫度:~200℃;工作壓力:0.6Mpa 過(guò)濾精度:10µm |
設計性能 |
過(guò)濾效果:固體去除率99.9% 濾 芯:316L,10µm 清灰設計:有備用,離線(xiàn)反吹或在線(xiàn)分區反吹;反吹氣:氫氣 |
工藝參數 |
氣 相:(mol%)H2(78.96%),HCl(0.64%), SiH2Cl2(1.82%),SiCl4(7.16%),SiHCl3(11.4%) 固 相:無(wú)定型 Si 粉 工作溫度:~200 ℃;工作壓力:~0.6Mpa 過(guò)濾精度:1µm |
設計性能 |
過(guò)濾效果:固體去除率99.9% 濾 芯:316L,1µm 清灰設計:有備用,離線(xiàn)反吹或在線(xiàn)分區反吹;反吹氣:氫氣 |
殼體材質(zhì) | 20#、低溫鋼、不銹鋼、雙相鋼、鈦合金、內襯PO、內襯四氟、2205等各種特殊材質(zhì) |
過(guò)濾器壓力 | 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa,最高至25.0Mpa |
溫度范圍 | -280℃~+2000℃ |
接管口徑 | DN15~DN1500mm |
連接方式 | 法蘭連接、快裝連接、螺紋連接、對焊連接 |
濾芯材質(zhì) | 不銹鋼、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、鈦合金、陶瓷等各種濾芯 |
過(guò)濾精度 | 0.001um~500um |
濾芯長(cháng)度 | 250mm、500mm、750mm、1000mm或客戶(hù)指定長(cháng)度 |
進(jìn)出口方位 | 上進(jìn)下出、上進(jìn)側出、左進(jìn)右出、下進(jìn)上出等各種型式 |
過(guò)濾器可選配件 | 壓差計、變送器、安全閥、電動(dòng)(氣動(dòng))排污閥、放空閥、液位計 |
墊片 | 聚四氟乙烯墊片、橡膠墊片、金屬內外環(huán)墊片、金屬石墨墊片或客戶(hù)指定 |
過(guò)濾器外面處理 | 采用內外拋光處理,達到衛生級標準,也可噴砂處理。 |
上海慶工建議客戶(hù)最好來(lái)電咨詢(xún),我們的工程師會(huì )免費根據貴公司的工況及參數選擇最合理的過(guò)濾器 |
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訂貨時(shí)請標注如下參數:型號、口徑、材質(zhì)、壓力、法蘭標準、過(guò)濾精度、數量,如客戶(hù)對產(chǎn)品有特殊要求,請在詢(xún)價(jià)時(shí)一并提出。